Microsystème optoélectromécanique
Définition
Microsystème opto-électro-mécanique: sont un sous-ensemble des systèmes micro-électro-mécaniques (MEMS, Micro-Electro-Mechanical Systems). Les MOEMS, fabriqués à partir de matériaux semi-conducteurs, sont capables de capter ou de manipuler des signaux optiques à une échelle très petite, utilisant des systèmes mécaniques ou électriques intégrés.
Français
XXXXXXXXX
Anglais
Microoptoelectromechanical systems
MOEMS
Source
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Contributeurs: Imane Meziani, wiki
